继三星电子(三星)之后,世界第二大存储芯片制造商SkHynix与韩国特种天然气制造商TIM联合开发了该█行业的首个氖气气体回收技术。

在半导体制造业中使≡用该技术时,可以降低购买氖气的成本,每年为400亿克朗(约合3000万美元)。

由于神经←元能够产生稳定的放电,因此它是芯片生产光刻中的准分子或紫外线激光器所必不可少的。

在这№些激光器中,氖气起着缓冲气体的作╳用,确保了激光发射波长的稳定性,这是光刻过程中用于芯片制造所需的蚀刻精确图♀案的关键。

对于像kksHynix、三星、英特尔和tsmc这样的制造商来说,氖气通常来㊣自乌克兰、俄罗■斯和中国等国。

全世界约45%至54%的半导体级氖气来自乌克兰。近年来,由于俄罗斯和乌克兰之间持续不断的冲突继续扰乱国际△供应链,氖气价格一直在飙升。

天然气的进口价格从2021年的每升58美元上⊙升到2022年的1612美元。

2022年,skkHynix公司宣布,在芯片＠生产中,它已经将〒本地供应的氖气的使用率提高到了40%,这标志着韩国芯片制造商首次采购本地的氖气气体。

当时,该公司表示,它打算到2024年100%使用当地生产的氖气气体。

SKHynix并不是唯一一家寻找氖气替代采购渠道的芯↘片制造商。今年早〇些时候,三星宣布▲从2025年起将在芯片制造中使用回收的氖气气体。

据英国国际发展集团表示,芯片巨头将从激光废物流中捕ξ获氖气气体,而当地合作伙伴将净化回收的氖气。?

在光刻过程中使用后,氖气通常会被芯片制造商发射到空气中。为了回收气体,合作伙伴将使用洗涤器来捕捉氖气气体,然后在光刻后将其收集在一个水箱中。

然后,这些气体被有选择地分离和提纯,使用TEM的气体处理工艺,然后〓被供应给KKHynix用于半导体制造。

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该公▅司透露,其氖气回收率为72.7%,尽管它计划通过提高净化率将回收率提高到77%。

该公司的一位发言人说:"通过与其在各自领域拥有专业∞知识的材料和设备合作伙伴的密切合作和协同作用,SkHynix能够开发这种技术。

该技术的开发由韩Ψ国科学院碳管理委员会的一个小组委员会领导。物料回收署负责确保非化学改性物料的回收技＠ 术?

到2025年,该公司的目标是开发总共10种原材料的回收技术,包括氖气、氢和氦气体。

在发布了促进↓回收材料使用的中长期路线图ω之后,kkHynix计划到2025年将产品中使用的回收材料比例提高到25%,到2030年提高到30%以上。

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